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Öffentliche Ausschreibungen

Titel : DEU-Siegen - Deutschland Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke CMP Anlage
Dokument-Nr. ( ID / ND ) : 2026040801004652566 / 239082-2026
Veröffentlicht :
08.04.2026
Anforderung der Unterlagen bis :
01.05.2026
Angebotsabgabe bis :
08.05.2026
Dokumententyp : Ausschreibung
Produkt-Codes :
38000000 - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
42611000 - Werkzeugmaschinen für besondere Zwecke
42990000 - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
DEU-Siegen: Deutschland Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
CMP Anlage

2026/S 68/2026 239082

Deutschland Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke CMP Anlage
OJ S 68/2026 08/04/2026
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Lieferleistungen

1. Beschaffer

1.1. Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Universität Siegen
E-Mail: ausschreibungen@zv.uni-siegen.de
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung
des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung

2. Verfahren

2.1. Verfahren
Titel: CMP Anlage
Beschreibung: Anlage zum Planarisieren und Glätten von Oberflächen mittels chemisch-
mechanischem Polieren (CMP, chemical mechanical polishing) zur Prozessierung von bis zu 6
Zoll großen Substraten
Kennung des Verfahrens: aa9010dd-16f2-4b6f-8916-8c7896a172f2
Interne Kennung: 04-WIS26E1OV
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein

2.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Zusätzliche Einstufung (cpv): 42611000 Werkzeugmaschinen für besondere Zwecke,
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

2.1.2. Erfüllungsort
Postanschrift: Adolf-Reichwein-Str. 2a
Stadt: Siegen
Postleitzahl: 57076
Land, Gliederung (NUTS): Siegen-Wittgenstein (DEA5A)
Land: Deutschland
Zusätzliche Informationen: Universität Siegen Graphen-basierte Nanotechnologie Adolf-
Reichwein-Straße 28 (INCYTE) 57076 Siegen

2.1.4. Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: #Bekanntmachungs-ID: CXPNY56DV7W#
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

2.1.6. Ausschlussgründe

Quellen der Ausschlussgründe: Auftragsunterlagen

5. Los

5.1. Los: LOT-0001
Titel: CMP Anlage
Beschreibung: Beschafft wird eine Anlage zum Planarisieren und Glätten von Oberflächen
mittels chemisch-mechanischem Polieren (CMP, chemical mechanical polishing) zur
Prozessierung von bis zu 6 Zoll großen Substraten. Das Gerät ist als integraler Bestandteil
des halbleitertechnologischen Reinraums des Forschungsgebäudes INCYTE der
Naturwissenschaftlich-Technischen Fakultät der Universität Siegen vorgesehen. Es dient in
den universitären Forschungsschwerpunkten der Sensorik sowie der Materialwissenschaften
als zentraler Reinraum-Gerätebestandteil zur Planarisierung und Glättung unterschiedlichster
Substrate oder Proben, wobei überwiegend im Halbleiterbereich gebräuchliche Substrate
adressiert werden sollen. Die Anlage steht den universitären Forschungszentren, dem
Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and
Engineering (Cµ), dem Center for Innovative Materials (Cm), dem DFG-geförderten Mikro- und
Nanoanalytikzentrum MNaF und der biomedizinischen Sensorforschung, wie auch externen
Kooperationspartnern zur Verfügung. Zudem soll die Planarisierungsanlage zentral allen
Forschern und Kooperationspartnern der Universität Siegen zur Verfügung stehen. Das
Projektbudget der Hochschule beträgt maximal 407.000,00 EUR brutto. Dieser Betrag umfasst
sämtliche anfallenden Steuern und Kosten- einschließlich jener aus dem Reverse-Charge-
Verfahren, welche die Universität Siegen direkt an das Finanzamt abführt. Soweit erforderlich,
rechnet die Vergabestelle diese Steuerlast bei Angebotsauswertung dem Angebotspreis
hinzu. Angebote, die diese Obergrenze überschreiten, werden zwingend vom
Vergabeverfahren ausgeschlossen. Bitte beachten Sie: Auch wenn die Leistungsbeschreibung
in englischer Sprache bereitgestellt wird, müssen sämtliche Vergabeunterlagen zwingend in
deutscher Sprache ausgefüllt und eingereicht werden. Ausländische Bieter haben
gleichwertige Nachweise ihrer zuständigen Heimatbehörden vorzulegen. Diese sind zusätzlich
in einer deutschen Übersetzung beizufügen.
Interne Kennung: 04-WIS26E1OV

5.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Zusätzliche Einstufung (cpv): 42611000 Werkzeugmaschinen für besondere Zwecke,
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

5.1.2. Erfüllungsort
Postanschrift: Adolf-Reichwein-Str. 2a
Stadt: Siegen
Postleitzahl: 57076
Land, Gliederung (NUTS): Siegen-Wittgenstein (DEA5A)
Land: Deutschland
Zusätzliche Informationen: Universität Siegen Graphen-basierte Nanotechnologie Adolf-
Reichwein-Straße 28 (INCYTE) 57076 Siegen

5.1.3. Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbekannt

5.1.6. Allgemeine Informationen

Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein

5.1.7. Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung

5.1.9. Eignungskriterien
Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Anteil der Unterauftragsvergabe
Beschreibung des Auswahlkriteriums: ALLGEMEINER HINWEIS: Soweit lediglich
Eigenerklärungen gefordert werden, behält sich der Auftraggeber das Recht vor, zur
Behebung von Zweifeln entsprechende Bescheinigungen oder Nachweise von den Bietern
nachzufordern. Kopien von Nachweisen werden anerkannt, sofern sie keinen Anlass zu
Zweifeln an der Übereinstimmung mit dem Original geben. Bitte reichen Sie unbedingt die
Nachweise und Erklärungen in der hier angegebenen Reihenfolge ein! Sollten die geforderten
Erklärungen oder Nachweise unvollständig oder unzureichend sein, kann der Bieter von dem
weiteren Verfahren ausgeschlossen werden! Ein Bieter kann nicht darauf vertrauen, dass der
Auftraggeber Gelegenheit zur Ergänzung oder Vervollständigung gibt, das Recht hierzu behält
er sich jedoch vor. Sofern sich der Bieter auf die Eignung anderer Unternehmen (im Rahmen
einer Bietergemeinschaft oder bzgl. Nachunternehmer) beruft, sind die jeweiligen Erklärungen
und Nachweise (insb. Eigenerklärungen und Referenzen) durch dieses oder diese
Unternehmen zu führen. Der Bieter/ die Bietergemeinschaft hat außerdem bei Aufforderung
durch den Auftraggeber noch vor Zuschlagserteilung eine Verpflichtungserklärung des oder
der jeweiligen Nachunternehmer(s) beizubringen. Weiter behält der Auftraggeber sich vor,
auch von den Unternehmen, die zwar Nachunternehmer einsetzen, sich jedoch nicht zum
Nachweis der Leistungsfähigkeit und Fachkunde auf die Nachunternehmer beziehen, vor
Zuschlagserteilung die entsprechenden Nachweise zur Zuverlässigkeit, Fachkunde und
Leistungsfähigkeit der Nachunternehmer und ggf. eine Verpflichtungserklärung einzuholen.
Die geforderten Nachweise sind von dem Bieter bzw. den Mitgliedern der Bietergemeinschaft
jeweils gesondert vorzulegen. Alle Nachweise sind mit dem Angebot vorzulegen; fehlende
Nachweise können vom Auftraggeber nachgefordert werden. Ausländische Bewerber haben
gleichwertige Nachweise der für sie zuständigen Behörde/Institution ihres Heimatlandes
beizubringen. Zusätzlich sind diese ins Deutsche zu übersetzen.

Kriterium: Anteil der Unterauftragsvergabe
Beschreibung des Auswahlkriteriums: Sofern eine Teilnahme als Bietergemeinschaft
beabsichtigt ist, hat die Bietergemeinschaft in ihrem Angebot eine Erklärung abzugeben, in der
alle Mitglieder der Bietergemeinschaft und der für die Durchführung des Vertrages
rechtskräftig bevollmächtigte Vertreter benannt werden (Vordruck 04-WIS25E1OV-
Eigenerklärung). Darüber hinaus ist zu erklären, dass alle Mitglieder der Bietergemeinschaft
dem Auftraggeber als Gesamtschuldner haften (formloses Schreiben durch die Vertreter aller
Mitglieder der Bietergemeinschaft unterschrieben (Vordruck 04-WIS25E1OV-Eigenerklärung
ggfs. formlose Eigenerklärung). Wenn ein Bieter für Leistungen Nachunternehmer einsetzen
will und sich auch auf die Eignung eines Nachunternehmers berufen will (Eignungsleihe) ist
Vordruck 04-WIS25E1OV Eigenerklärung Nachunternehmer zu verwenden. Zusätzlich sind
die konkret nach Maßgabe dieser Bekanntmachung erforderlichen Eignungsnachweise für den
Nachunternehmer vorzulegen.

Kriterium: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Beschreibung des Auswahlkriteriums: Eigenerklärung, dass der Bewerber eine
Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Mindestdeckungssumme in Höhe von 1.000.000 EUR
je Schadensfall für Personenschäden und in Höhe von jeweils 1.000.000 EUR je Schadensfall
für Vermögens- und Sachschäden bzw. im Auftragsfall unverzüglich abschließen wird.
(Vordruck 04-WIS25E1OV Eigenerklärung)

Kriterium: Allgemeiner Jahresumsatz
Beschreibung des Auswahlkriteriums: Erklärung über den Gesamtumsatz in den letzten 3
Geschäftsjahren (Geschäftsjahre 2023, 2024, 2025) und über den Umsatz für den Bereich der
ausgeschriebenen Aufgabenbereiche für die genannten Geschäftsjahre. (Vordruck 04-
WIS25E1OV-Eigenerklärung).

Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung des Auswahlkriteriums: Bitte geben Sie drei Referenzkunden aus den letzten 5
Jahren an, bei denen Sie bereits Leistungen in ähnlicher technischer Ausführung und
Größenordnung erbracht haben. (Die Angaben sind zwingend. Mit einem Hinweis auf den
Datenschutz können die Angaben nicht verweigert werden. Der Bieter ist für die
Rechtmäßigkeit der Datenweitergabe verantwortlich.) (Vordruck 04-WIS25E1OV
Eigenerklärung)

5.1.10. Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Qualitative Kriterien gemäß der Vergabeunterlagen B1.1 bis B1.15
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium Zahl: 67
Kriterium:
Art: Preis
Beschreibung: Der Bieter mit dem günstigsten Preis erhält in der Kategorie Preis die maximale
Punktzahl und dieser dient als Referenzwert für die weitere Bewertung. Die anderen Angebote
werden im Verhältnis hierzu prozentual abgestuft. Angebote, die den zur Verfügung stehenden
Budgetrahmen von 407.000,01 EUR (=brutto) inklusive aller Kosten, wie z.B. Trasport-,
Importkosten, ggfls. ausländischer und inländischer Steuern im Falle eines Reverse-Charge-
Verfahrens übersteigen, werden mit null Punkten gewertet und sind zwingend auszuschließen.
Preispunkte von Angebot i=(P_min/P_i ) L_max Pmin = Der niedrigste Preis aller wertbaren
Angebote (Referenzwert) Pi = Der Preis des aktuell zu bewertenden Angebots Lmax = Die
maximal erreichbare Punktzahl (hier: 750 Punkte)
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium Zahl: 33

5.1.11. Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 01/05/2026 23:59:59 (UTC+02:00)
Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice
/CXPNY56DV7W/documents
Ad-hoc-Kommunikationskanal:
Name: Kommunikationsportal des Vergabemarktplatzes NRW

URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY56DV7W

5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Adresse für die Einreichung: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice
/CXPNY56DV7W
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 08/05/2026 11:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit,
Mitteleuropäische Sommerzeit
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 6 Wochen
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf
nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Die Nachforderungsmöglichkeit von Unterlagen richtet sich nach
den Regelungen des § 56 VgV.
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungstermin: 08/05/2026 11:01:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische
Sommerzeit
Ort des Eröffnungstermins: elektronische Vergabeplattform des Landes Nordrhein-Westfalen
(VMP-NRW).
Eröffnungstermin Beschreibung: VMP-NRW-legitimiertes Personal des Auftraggebers
erhalten im Vier-Augen-Verfahren mit Zeitpunkt des Fristablaufes Zugang zu den Angeboten.
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte
Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Wesentliche Zahlungsbedingungen: Die
Universität Siegen darf Vorauszahlungen bzw. Anzahlungen nur gegen Vorlage einer
selbstschuldnerischen Bankbürgschaft leisten. Die Bürgschaft muss selbstschuldnerisch und
unter Verzicht auf die Einreden der Anfechtung, Aufrechenbarkeit und der Vorausklage von
einer Bank innerhalb der Europäischen Union ausgestellt sein. Die Dauer der Bankbürgschaft
muss dabei unbefristet oder auf einen Zeitpunkt befristet sein, der mindestens drei Monate
nach dem vom Bieter zugesagten Lieferzeitpunkt liegt. In letzterem Fall ist ein Lieferdatum
zwingend anzugeben. Die Rückgabe der Anzahlungsbürgschaft erfolgt nach der vollständigen
Lieferung. Der Auftragnehmer wird spätestens 14 Tage vor Ablauf der Bankbürgschaft
unaufgefordert eine neue gleichartige Bankbürgschaft bei der Universität Siegen vorlegen,
falls die vollständige Abnahme noch nicht erfolgt ist. Andernfalls wird die Universität Siegen
die auslaufende Bankbürgschaft in Anspruch nehmen.
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja

5.1.15. Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem

Elektronische Auktion: nein

5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster
Informationen über die Überprüfungsfristen: Statthafte Rechtsbehelfe sind gem. §§ 160 ff.
GWB die Rüge sowie der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens vor der
zuständigen Vergabekammer. Eine Rüge ist an die Vergabestelle zu richten. Eine Rüge bzw.
der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens ist unzulässig, soweit - der
Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des
Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von
zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, -
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht
spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder
zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, - Verstöße gegen
Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis
zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber
gerügt werden oder - mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des
Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei
einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer
2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Universität
Siegen
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Universität Siegen

8. Organisationen

8.1. ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Universität Siegen
Registrierungsnummer: DE 154854171
Postanschrift: Adolf-Reichwein-Str. 2a
Stadt: Siegen
Postleitzahl: 57076
Land, Gliederung (NUTS): Siegen-Wittgenstein (DEA5A)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Vergabestelle
E-Mail: ausschreibungen@zv.uni-siegen.de
Telefon: +49 271740-4867
Fax: +49 271740-14918
Internetadresse: https://www.uni-siegen.de/start/
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt

8.1. ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster
Registrierungsnummer: 05515-03004-07
Postanschrift: Albrecht-Thaer-Str. 9
Stadt: Münster
Postleitzahl: 48128

Land, Gliederung (NUTS): Münster, Kreisfreie Stadt (DEA33)
Land: Deutschland
E-Mail: vergabekammer@bezreg-muenster.nrw.de
Telefon: +49 251411-1691
Fax: +49 251411-2165
Internetadresse: https://www.bezreg-muenster.de/de/wirtschaft_finanzen_kommunalaufsicht
/vergabekammer_westfalen/index.html
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle

8.1. ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des
Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 37dc88d6-8525-478b-abe4-2e6fca529650 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 07/04/2026 12:44:58 (UTC+02:00)
Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
ABl. S Nummer der Ausgabe: 68/2026
Datum der Veröffentlichung: 08/04/2026

Referenzen:
https://www.bezreg-muenster.de/de/wirtschaft_finanzen_kommunalaufsicht/vergabekammer_westfalen/index.html
https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY56DV7W
https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY56DV7W/documents
https://www.uni-siegen.de/start/
http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202604/ausschreibung-239082-2026-DEU.txt

 
 
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