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icc hofmann - Ingenieurbüro für technische Informatik Am Stockborn 16, 60439 Frankfurt/M, FRG Tel.: +49 6082-910101 Fax.: +49 6082-910200 E-Mail: info@icc-hofmann.net |
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38500000 - Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen
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DEU-Frankfurt: Deutschland Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen Lieferung und Installation einer manuellen Abscheideanlage für Molecular-Layer-Deposition 2025/S 129/2025 447274 Deutschland Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen Lieferung und Installation einer manuellen Abscheideanlage für Molecular-Layer-Deposition OJ S 129/2025 09/07/2025 Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung Lieferungen 1. Beschaffer 1.1. Beschaffer Offizielle Bezeichnung: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik E-Mail: vergabestelle@ihp-microelectronics.com Rechtsform des Erwerbers: Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber subventionierten Auftrag vergibt Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung 2. Verfahren 2.1. Verfahren Titel: Lieferung und Installation einer manuellen Abscheideanlage für Molecular-Layer- Deposition Beschreibung: Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Manuellen Molecular-Layer-Deposition Abscheideanlage (MLD-Anlage) zum flächigen Beschichten von Wafern mit Abmessungen von 200 mm Durchmesser und einer Dicke von 150 bis 750 µm. Kennung des Verfahrens: e0bb03fa-b109-44cc-b643-793d3023acd4 Interne Kennung: IHP-2025-048 Verfahrensart: Offenes Verfahren Das Verfahren wird beschleunigt: nein 2.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferungen Haupteinstufung (cpv): 38500000 Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen 2.1.2. Erfüllungsort Postanschrift: Im Technologiepark 25 Stadt: Frankfurt (Oder) Postleitzahl: 15236 Land, Gliederung (NUTS): Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403) Land: Deutschland 2.1.4. Allgemeine Informationen Zusätzliche Informationen: Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYT03JCZDC Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden. Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben. Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist insbesondere auch unter Betrachtung von Transparenz und Effizienz. Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU vgv - 2.1.6. Ausschlussgründe Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen: Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung: Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten: Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung: Betrug: Korruption: Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels: Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern: Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen: Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen: Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen: Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen: Zahlungsunfähigkeit: Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter: Einstellung der gewerblichen Tätigkeit: Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften: Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten: Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs: Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren: Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens: Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen: Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten.: 5. Los 5.1. Los: LOT-0001 Titel: Lieferung und Installation einer manuellen Abscheideanlage für Molecular-Layer- Deposition Beschreibung: Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Manuellen Molecular-Layer-Deposition Abscheideanlage (MLD-Anlage) zum flächigen Beschichten von Wafern mit Abmessungen von 200 mm Durchmesser und einer Dicke von 150 bis 750 µm. Das Grundgehäuse soll Elektronikkomponenten zur Steuerung und Sicherheit des Gerätes enthalten, insbesondere ist hierbei ein geeignetes Rückhaltesystem z.B. Kühlfalle oder Aktivkohlefilter zur Silanentfernung integriert. Das Gerät umfasst einen Vakuumofen, eine Plasmaquelle, ein Reagenzkabinett in welchem die Präkursor-Substanzen für die Beschichtungen eingelagert werden, Anschlüsse für Sauerstoff, und Argon oder Stickstoff sowie für eine Vakuumpumpe. Das Gerät besitzt eine Reaktionskammer, welche bis mindestens 180°C temperiert werden kann und in welcher Sauerstoffplasma unter verminderten Druck direkt vor der Silanisierungsreaktion erzeugt werden kann. Hierbei ist kein mechanischer Umbau der Anlage notwendig. Der Vakuumofen soll mit einer wiederverschließbaren Tür versehen sein. Als Sicherheitsvorkehrungen sind neben einer Kühlfalle oder einem Filter ebenfalls visuelle und akustische Warnanlagen sowie ein redundantes Temperaturüberwachungssystem verbaut. Das Gerät ist mit einer Luftabsaugung für die Pumpen ausgestattet und geeignet ohne dass weitere Sicherheitsvorkehrungen im Reinraum oder Graubereich betrieben werden müssen. Das Gerät ist mit 230 V kompatibel. Das Gerät ist insbesondere dafür geeignet dünne kovalente Sichten von 3- Aminopropyltriethoxysilan (APTES) aber auch (3-Glycidyloxypropyl)trimethoxysilan (GLYMO) auf den Targets zu immobilisieren. - Lokaler Server, einschließlich Hardware und Software Die Softwaresteuerung des Gerätes erfolgt über einen PC oder ein Echtzeit-Betriebssystem. Die Software und ggfs. der Rechner sind im Lieferumfang enthalten. - System Wagen, laminiert, mit feststellbaren Rollen - Lieferung und Installation der Anlage, inklusive Schulung - Trockenes Pumpensystem - Massendurchflussregler für Sauerstoff, und Argon oder Stickstoff - Montage der Kältemaschine - Ersatzteil-Kit Interne Kennung: IHP-2025-048 5.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferungen Haupteinstufung (cpv): 38500000 Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen 5.1.2. Erfüllungsort Postanschrift: Im Technologiepark 25 Stadt: Frankfurt (Oder) Postleitzahl: 15236 Land, Gliederung (NUTS): Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403) Land: Deutschland 5.1.3. Geschätzte Dauer Andere Laufzeit: Unbekannt 5.1.6. Allgemeine Informationen Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten. Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: ja Zusätzliche Informationen: #Besonders auch geeignet für:startup#, #Besonders auch geeignet für:other-sme# 5.1.7. Strategische Auftragsvergabe Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung 5.1.9. Eignungskriterien Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen Beschreibung: Referenzen (Mit dem Angebot; Keine oder anderweitige Formerfordernis): Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag. Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen: -Referenzgeber: -Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer: -Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung: - Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs Kriterium: Eintragung in das Handelsregister Beschreibung: Nachweis über die Eintragung in ein Handelsregister (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): 5.1.11. Auftragsunterlagen Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 31/07/2025 23:59:59 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de /VMPSatellite/notice/CXSTYYDYT03JCZDC/documents Ad-hoc-Kommunikationskanal: URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYT03JCZDC 5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe Bedingungen für die Einreichung: Elektronische Einreichung: Erforderlich Adresse für die Einreichung: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice /CXSTYYDYT03JCZDC Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch Elektronischer Katalog: Nicht zulässig Varianten: Nicht zulässig Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig Frist für den Eingang der Angebote: 08/08/2025 12:00:00 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss: 60 Tage Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können: Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden. Zusätzliche Informationen: - Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung: Eröffnungsdatum: 08/08/2025 12:00:00 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Auftragsbedingungen: Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: - Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich Aufträge werden elektronisch erteilt: ja Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja 5.1.15. Techniken Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem Elektronische Auktion: nein 5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung Überprüfungsstelle: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten Informationen über die Überprüfungsfristen: - Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik 8. Organisationen 8.1. ORG-0001 Offizielle Bezeichnung: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Registrierungsnummer: DE138996546 Postanschrift: Im Technologiepark 25 Stadt: Frankfurt (Oder) Postleitzahl: 15236 Land, Gliederung (NUTS): Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403) Land: Deutschland Kontaktperson: Beschaffung E-Mail: vergabestelle@ihp-microelectronics.com Telefon: +49 335-5625337 Fax: +49 335-5625333 Rollen dieser Organisation: Beschaffer Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt 8.1. ORG-0002 Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten Registrierungsnummer: t:0331866-1719 Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107 Stadt: Potsdam Postleitzahl: 14473 Land, Gliederung (NUTS): Potsdam, Kreisfreie Stadt (DE404) Land: Deutschland E-Mail: Vergabekammer@MWAE.brandenburg.de Telefon: +49 331866-1719 Fax: +49 331866-1652 Internetadresse: https://mwae.brandenburg.de Rollen dieser Organisation: Überprüfungsstelle 8.1. ORG-0003 Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83 Stadt: Bonn Postleitzahl: 53119 Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22) Land: Deutschland E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de Telefon: +49228996100 Rollen dieser Organisation: TED eSender Informationen zur Bekanntmachung Kennung/Fassung der Bekanntmachung: ad69229f-eddd-4d6c-9c48-c49e25b8c568 - 01 Formulartyp: Wettbewerb Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung Unterart der Bekanntmachung: 16 Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 08/07/2025 08:49:36 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch ABl. S Nummer der Ausgabe: 129/2025 Datum der Veröffentlichung: 09/07/2025 Referenzen: https://mwae.brandenburg.de https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYT03JCZDC https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYT03JCZDC/documents http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202507/ausschreibung-447274-2025-DEU.txt |
