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icc hofmann - Ingenieurbüro für technische Informatik Am Stockborn 16, 60439 Frankfurt/M, FRG Tel.: +49 6082-910101 Fax.: +49 6082-910200 E-Mail: info@icc-hofmann.net |
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31712100 - Mikroelektronische Maschinen und Geräte
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DEU-Dresden: Deutschland Mikroelektronische Maschinen und Geräte VRTP-Kammern 2025/S 127/2025 439896 Deutschland Mikroelektronische Maschinen und Geräte VRTP-Kammern OJ S 127/2025 07/07/2025 Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung Lieferungen 1. Beschaffer 1.1. Beschaffer Offizielle Bezeichnung: NaMLab gGmbH E-Mail: einkauf@namlab.com Rechtsform des Erwerbers: Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber subventionierten Auftrag vergibt Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Wirtschaftliche Angelegenheiten 2. Verfahren 2.1. Verfahren Titel: VRTP-Kammern Beschreibung: VRTP-Kammern Kennung des Verfahrens: 0197c68c-45dc-45b4-995b-d3cd238e4bdf Interne Kennung: NLB2025_07 Verfahrensart: Offenes Verfahren Das Verfahren wird beschleunigt: nein 2.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferungen Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte 2.1.2. Erfüllungsort Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64a Stadt: Dresden Postleitzahl: 01187 Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) Land: Deutschland Zusätzliche Informationen: Reinraum, 1. Stock im Gebäude 2.1.4. Allgemeine Informationen Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU vgv - Verordnung über die Vergabe öffentlicher Aufträge Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift: EU Richtlinien 2.1.6. Ausschlussgründe Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung Korruption: Ausgefüllte und unterschriebene Eigenerklärung zum Unternehmen, Abfrage Wettbewerbsregister 5. Los 5.1. Los: LOT-0001 Titel: Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei neuen nicht gebrauchten Vakuum- Prozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben Beschreibung: Die beabsichtigte Beauftragung umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei neuen nicht gebrauchten Vakuumprozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben unter unterschiedlichen Gas-Atmosphären und im Vakuum mit sehr steilen Aufheizrampen bis 1200°C und Abkühlrampen (engl. VRTP). Die beiden Kammern können als eine Anlage mit zwei Prozesskammern oder als zwei Einzelanlagen mit jeweils einer Kammer angeboten werden, die die sehr steilen Aufheiz- und Abkühlrampen ausführen können. Die Maschinen werden für die thermische Bearbeitung von dünnen Schichten und die Prozessierung von mikro-/nanoelektronischen Bauteilen eingesetzt. Sie müssen mit CMOS-Standards kompatibel sein. Eine Kammer soll Wafer mit einem Durchmesser bis 200 mm prozessieren können. Die zweite Kammer soll Wafer und Proben bis zu einer Größe von mindestens 150 mm prozessieren können. Die Prozessierung muss so erfolgen können, dass die beiden Kammern unterschiedliche Kontaminationsklassen erfüllen. Die Anlage(n) soll im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) des Auftraggebers im ersten Stock seines Gebäudes in der Nöthnitzer Straße 64a, in 01187 Dresden stehen und muss die Anforderungen an diesen Reinraum insbe¬sondere die Partikelfreiheit und die noch verfügbaren Flächen dieses Reinraumes erfüllen. Interne Kennung: LOT-0001 5.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferungen Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte Menge: 2 Stück 5.1.2. Erfüllungsort Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64a Stadt: Dresden Postleitzahl: 01187 Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) Land: Deutschland Zusätzliche Informationen: Reinraum, 1. Stock im Gebäude 5.1.3. Geschätzte Dauer Laufzeit: 7 Monate 5.1.5. Wert Geschätzter Wert ohne MwSt.: 480 000,00 EUR 5.1.6. Allgemeine Informationen Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten. Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: ja Zusätzliche Informationen: #Besonders auch geeignet für:other-sme# 5.1.7. Strategische Auftragsvergabe Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung 5.1.8. Zugänglichkeitskriterien Kriterien für die Zugänglichkeit für Menschen mit Behinderungen wurden nicht berücksichtigt, da die Beschaffung nicht für die Nutzung durch natürliche Personen vorgesehen ist 5.1.9. Eignungskriterien Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung Kriterium: Eintragung in das Handelsregister Beschreibung: Handelsregisterauszug oder vergleichbares Dokument muss vorgelegt werden. Kriterium: Finanzkennzahlen Beschreibung: Eigenerklärung zum Umsatz mit vergleichbaren Produkten zur Ausschreibung. Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen Beschreibung: Eigenerklärung zu schon ausgelieferten vergleichbaren Produkten zur Ausstattung Kriterium: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung Beschreibung: Eigenerklärung muss unterschrieben werden. 5.1.11. Auftragsunterlagen Zugang zu bestimmten Auftragsunterlagen ist beschränkt Begründung für die Beschränkung des Zugangs zu bestimmten Auftragsunterlagen: Schutz besonders sensibler Informationen Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch Informationen über zugangsbeschränkte Dokumente einsehbar unter: https://www.evergabe.de /unterlagen/0197c68c-45dc-45b4-995b-d3cd238e4bdf/zustellweg-auswaehlen 5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe Bedingungen für die Einreichung: Elektronische Einreichung: Erforderlich Adresse für die Einreichung: https://www.evergabe.de/unterlagen/0197c68c-45dc-45b4-995b- d3cd238e4bdf/zustellweg-auswaehlen Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch Elektronischer Katalog: Nicht zulässig Varianten: Nicht zulässig Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig Beschreibung der finanziellen Sicherheit: Unbefristete Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe der ersten Abschlagszahlung, die durch eine Gewährleistungsbürgschaft abzulösen ist. Frist für den Eingang der Angebote: 12/08/2025 13:00:00 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss: 39 Tage Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können: Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden. Zusätzliche Informationen: Details zu den Spezifikationen, Informationen zum Unternehmen Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung: Eröffnungsdatum: 13/08/2025 09:00:00 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Auftragsbedingungen: Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig Aufträge werden elektronisch erteilt: ja Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja Finanzielle Vereinbarung: Zahlungsplan: bei Auftragsvergabe 40 %, bei Lieferung 40 %, bei Abnahme 20 %.Unbefristete Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe der ersten Abschlagszahlung, die durch eine Gewährleistungsbürgschaft abzulösen ist. 5.1.15. Techniken Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem Elektronische Auktion: nein 5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung Überprüfungsstelle: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: NaMLab gGmbH Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt: NaMLab gGmbH Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion 8. Organisationen 8.1. ORG-0001 Offizielle Bezeichnung: NaMLab gGmbH Registrierungsnummer: HRB 24890 Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64 a Stadt: Dresden Postleitzahl: 01187 Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) Land: Deutschland Kontaktperson: Einkauf E-Mail: einkauf@namlab.com Telefon: +49 21249900 Internetadresse: https://www.namlab.com Profil des Erwerbers: https://www.evergabe.de Rollen dieser Organisation: Beschaffer Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt 8.1. ORG-0002 Offizielle Bezeichnung: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Registrierungsnummer: keine Angabe Postanschrift: Braustraße 2 Stadt: Leipzig Postleitzahl: 04107 Land, Gliederung (NUTS): Leipzig, Kreisfreie Stadt (DED51) Land: Deutschland Kontaktperson: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen E-Mail: wiltrud.kadenbach@lds.sachsen.de Telefon: +493419771040 Internetadresse: https://www.lds.sachsen.de Rollen dieser Organisation: Überprüfungsstelle Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt 8.1. ORG-0003 Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83 Stadt: Bonn Postleitzahl: 53119 Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22) Land: Deutschland E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de Telefon: +49228996100 Rollen dieser Organisation: TED eSender Informationen zur Bekanntmachung Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 0197c68e-d502-4220-9a31-13432b0cb9da - 01 Formulartyp: Wettbewerb Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung Unterart der Bekanntmachung: 16 Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 04/07/2025 14:19:33 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch ABl. S Nummer der Ausgabe: 127/2025 Datum der Veröffentlichung: 07/07/2025 Referenzen: https://www.lds.sachsen.de https://www.namlab.com http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202507/ausschreibung-439896-2025-DEU.txt |
